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B1500A

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반도체 디바이스 분석기 B1500A
Power_U8000
  • •Windows®XP Professional OS 및 EasyEXPERT 소프트웨어가 탑재된 PC 기반 계측기
  • •전류-전압(IV), 캐패시턴스-전압(CV), 펄스 발생, 빠른 IV 및 시간 도메인 측정을 위한
    　 원박스 솔루션
  • •소스 모니터 장치(SMU) 및 기타 모듈 유형(MFCMU, HV-SPGU 및 WGFMU)을 위한
    　 모듈 슬롯 10개
  • •0.1fA 및 0.5µV까지 전류-전압(IV) 측정 지원
  • •준정적 및 중간 주파수 캐패시턴스-전압(CV) 측정 지원
  • •펄스 IV, NBTI 및 RTS 노이즈(RTN) 측정과 같이 다양한 테스트에서 정확하고 빠른
    　 IV 및 시간 도메인 측정 지원
제품 사양
테스트 적용 범위 지원 모듈 주요 사양 주요 특징
DC 및 펄스형 IV 측정 B1510A
고전력
소싱/측정 장치 (HPSMU)
  • • 최고 200 V/1A
  • • 최소 10 fA/2 μV 분해능
  • • 최소 100 μs 샘플링(타임 도메인) 측정
  • • 최소 500 μs 펄스폭과 100 μs 분해능
  • • 준정적 커패시턴스 전압
  • 　 (QSCV) 측정 및 누설 전류 보상
  • • 4-사분면 작동
  • • Kelvin(4-와이어) 연결
  • • 스폿, 스위프, 기타 기능
B1511B
중전력
소싱/측정 장치 (MPSMU)
  • • 최고 100 V/0.1 A
  • • 최소 10 fA/0.5 μV 분해능
  • • 0.1 fA 및 IV/CV 스위칭을 위한 ASU 옵션
B1517A
고분해능
소싱/측정 장치 (HRSMU)
  • • 최고 100 V/0.1 A
  • • 최소 1 fA/0.5 μV 분해능
  • • 0.1 fA 및 IV/CV 스위칭을 위한 ASU 옵션
B1514A
50 μs 펄스 중전류
소싱/측정 장치 (MCSM U)
  • • 최고 30 V/1 A (0.1 A DC)
  • • 최소 50 μs 펄스 폭과 2 μs 분해능
  • • 펄스형 정밀 측정을 위한 오실로스코프 뷰
커패시턴스 측정 B1520A
다중 주파수
커패시턴스 측정 장치 (MFCMU)
  • • 1 kHz ~ 5 MHz 주파수 범위
  • • 기본 25 V DC 바이어스
    　 (SMU와 SCUU를 사용할 경우 100 V
    　 DC 바이어스)
  • • AC 임피던스 측정 (C-V, C-f, C-t)
  • • SCUU를 통한 자동 스위칭을 바탕으로
    　 하는 쉽고 빠르고 정확한 IV 및 CV 측정
초고속 펄스형 및
Transient IV 측정		 B1530A
파형 발생기/고속
측정장치 (WGFMU)
  • • 파형 발생 시 10 ns 프로그래밍 가능 분해능
  • • 200 MSa/s 동시 고속 측정
  • • 10 V 피크 투 피크 출력
  • • 로드 라인 효과 없음, SMU 기반 기술을
    　 활용한 정확한 펄스형 IV 측정
  • • NBTI/PBTI, RTN 등과 같은 고급
    　 어플리케이션용으로 사용 가능
펄스 발생 B1542A
10 ns 펄스형
IV 파라메트릭 테스트 솔루션
  • • 최고 ± 40 V 고전압 출력
  • • 각 채널의 2단계 및 3단계 펄스 및
    　 임의 파형 발생 기능
  • • 비휘발성 메모리 테스트에 이상적
초고속 펄스형
고유전율/SOI 평가용		 B1542A
10 ns 펄스형
IV 파라메트릭 테스트 솔루션
  • • 2 ns의 상승, 하강 시간을 포함한 최소
    　 10 ns의 게이트 펄스 폭
  • • 1 μs 전류 측정 분해능
  • • 정확한 Id-Vd 및 Id-Vg 측정
  • • DC 및 펄스형 측정 간 손쉬운 전환
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